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1988
Conference Paper
Titel
Kopplung des Laser-Raster-Mikroskops und der CAD-Entwurfsdatenbasis
Abstract
Die Lösungsansätze der vollautomatisierten Fehlerlokalisierung gehen von der Kopplung des Testers mit den generierten Testdaten (CAT) und den Entwurfsdaten (CAD) aus. Bei der steigenden Komplexität integrierter Schaltungen stellt die Strahlpositionierung im Rahmen kontaktloser Meßverfahren wie Elektronen- oder Laserstrahltesten den zeitkritischen Faktor dar. Von Vorteil ist aber nicht nur eine automatisierte Positionierung der Meßsonde, sondern ein möglichst hoher Informationsgehalt über die Zugehörigkeit der Transistoren und Polygone auf verschiedenen Maskenebenen zu den entworfenen Schaltungsblöcken.