Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Kopplung des Laser-Raster-Mikroskops und der CAD-Entwurfsdatenbasis

 
: Fritz, J.; Lackmann, R.

Informationstechnische Gesellschaft -ITG-:
Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen. Herausforderung der 90er Jahre; ITG/GI-Workshop
1988
Informationstechnische Gesellschaft (Workshop) <1989, Grassau>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS ()
Laser-Raster-Mikroskop

Abstract
Die Lösungsansätze der vollautomatisierten Fehlerlokalisierung gehen von der Kopplung des Testers mit den generierten Testdaten (CAT) und den Entwurfsdaten (CAD) aus. Bei der steigenden Komplexität integrierter Schaltungen stellt die Strahlpositionierung im Rahmen kontaktloser Meßverfahren wie Elektronen- oder Laserstrahltesten den zeitkritischen Faktor dar. Von Vorteil ist aber nicht nur eine automatisierte Positionierung der Meßsonde, sondern ein möglichst hoher Informationsgehalt über die Zugehörigkeit der Transistoren und Polygone auf verschiedenen Maskenebenen zu den entworfenen Schaltungsblöcken.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-20995.html