Fraunhofer-Gesellschaft

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Kalorimetrischer low-cost-Mikrodurchflußmesser für Flüssigkeiten

 
: Kersjes, R.A.; Mokwa, W.; Klein, J.

Sensor-Report 10 (1995), Nr.5, S.37-41
ISSN: 0179-9592
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IMS ()
CMOS-Technik; Durchfluß; Durchflußmessung; Durchflußsensor; Hitzdrahtanimometer; Massendurchfluß; Silizium

Abstract
Dieser Beitrag schildert den Aufbau eines kalorimetrischen Massenstrom-Durchflußmessers. Im Gegensatz zu den bisherigen Systemen, welche nach dem thermischen Prinzip arbeiten, weist der Durchflußmesser kein Zeitkonstante t90 von mehreren Sekunden auf, sondern eine t90 im Bereich einiger Millisekunden. Diese extrem geringe Zeitkonstante konnte nur durch konsequente Anwendung der Halbleiterherstellunsverfahren durch Minimierung der physikalischen Massen am Meßort erreicht werden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-20263.html