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Kalibrierung von Streulichtpartikelzählern

Calibration of optical particle counters
 
: Ernst, C.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. Oktober 1990 : 1. und 2. Oktober 1990
Stuttgart, 1990
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop)
Meßtechnisches Praktikum
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
calibration; Counting efficiency; evaluation; Impulshöhenverteilung; Kalibrieren; Latexpartikel; Latices; Pulse hight distribution; Reference measurement; REM-Auszählmethode; scattering light; SEM Counting method; Streulicht; Überprüfung; Vergleichsmessung; Zählwirkungsgrad

Abstract
Streulichtpartikelmeßgeräte für Gase und Flüssigkeiten sind aus dem weitreichenden Bereich der Versorgung mit reinen Medien nicht mehr wegzudenken. Die Messung von Submikronpartikeln in strömenden Medien nach dem Streulichtprinzip ist jedoch nicht ganz unproblematisch. Die Summe der physikalischen Phänomene bei der Lichtstreuung machen ihre Ausnutzung zur Bestimmung von Partikelgröße und -konzentration zu einer komplexen Aufgabe. Im Hinblick auf die geforderte Vergleichbarkeit von Messungen spielt besonders die (regelmäßige) Kalibrierung dieser Geräte mit Latexpartikeln monodisperser Verteilung (Meßstandards) eine wichtige Rolle. Die Charakterisierung der Zähleigenschaften wie Klassifizierungsgenauigkeit, Zählwirkungsgrad etc. unter Verwendung handelsüblicher Latexpräparate muß durch eine zuverlässige Vergleichsmeßmethode gesichert sein. Als einzige Methode kommt hierfür die Messung mit Mikroskop und Membranfilter in Betracht, bei der ein repräsentativer Teil der Kalibrierteilchen auf einer glatten Filterscheibe zurückgehalten und anschließend ausgezählt und ausgemessen wird. Aufgrund der statistischen Sicherheit wächst der Aufwand für Größen unterhalb 0,2 fm. Die mittlere Anzahlkonzentration der Kalibrierteilchen kann rasterelektronenmikroskopisch mit hinreichender Genauigkeit bestimmt und reproduziert werden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-20256.html