Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Investigations of relaxation effects in Cu-lines on Si-substrates

 
: Köhler, B.; Meissner, O.; Melov, V.G.; Schreiber, J.

Michel, B.; Winkler, T. ; Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V. -DVM-, Berlin:
Micro Materials. Micro Mat '97. Proceedings : April 16 - 18, 1997, Berlin, Germany
Berlin: DVM, 1997
ISBN: 3-932434-05-6
S.467-470
Micro Materials (Micro Mat) <2, 1997, Berlin>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZFP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-20012.html