Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Investigation of X-ray exposure using plane scanning mirrors

 
: Bieber, M.; Betz, H.; Heuberger, A.

Nuclear instruments and methods in physics research 208 (1983), S.281-286 : Abb.,Lit.
ISSN: 0029-554X
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Höchstintegration; Lithographie; Röntgenstrahlung

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-19980.html