Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Interferometrische Techniken zur Messung von Größen der Fertigungs- und Verfahrenstechnik

 
: Wagner, E.

Laser-Magazin (1988), Nr.4, S.32ff.
ISSN: 0945-8875
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPM ()
Fertigungstechnik; Halbleiterlaser; Interferometrie; laser; Meßtechnik; Verfahrenstechnik

Abstract
In dem Masse, wie Verarbeitungs- und Verfahrenstechnik, Analytik und Konsumtechnik die besonderen Eigenschaften von Lasern nutzen, bedient sich auch die Messtechnik der Vorzuege dieser Strahlungsquellen. Der breite Einsatz dieser optischen Sender hat umgekehrt die Entwicklung der Laser - weil sie wirtschaftlich an Bedeutung gewonnen haben - in Richtung auf Stabilitaet, Lebensdauer und Kosten wesentlich beeinflusst. (IPM)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-19705.html