Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Inspektion technischer Oberflächen

Inspection of Technical Surfaces
 
: Werner, D.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '98 : IPA-Workshop, 06. und 07. Juli 1998, Stuttgart-Vaihingen
Stuttgart, 1998
Meßtechnisches Praktikum <1998, Stuttgart>
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1998, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Absaugverfahren; Fertigungsumgebung; Kontaktwinkelverfahren; Kontamination; Kontaminationsüberwachung; Oberflächenanalyse; Partikelemission; Reine Produktion; Reinraumtechnik; Tapelift-Verfahren

Abstract
Aufzeigen und detaillierte Beschreibung von Verfahren zur Beurteilung der Verunreinigung technischer Oberflächen mit Partikeln und filmischen Stoffen. Klassifizierung von Anforderungen an Materialien der Fertigungsumgebung.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-19004.html