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Inspektion technischer Oberflächen

	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart: Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '97 : IPA-Workshop, 27. und 28. Oktober 1997, Stuttgart Stuttgart, 1997 S.1-39
	Meßtechnisches Praktikum <1997, Stuttgart> Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1997, Stuttgart>

	Deutsch
	Konferenzbeitrag
	Fraunhofer IPA ()
	Absaugverfahren; Fertigungsumgebung; Kontaktwinkelverfahren; Kontamination; Kontaminationsüberwachung; Oberflächenanalyse; Partikelemission; Reine Produktion; Reinraumtechnik; Tapelift-Verfahren

Abstract
Aufzeigen und detaillierte Beschreibung von Verfahren zur Beurteilung der Verunreinigung technischer Oberflächen mit Partikeln und filmischen Stoffen. Klassifizierung von Anforderungen an Materialien der Fertigungsumgebung.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-19003.html