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1997
Conference Paper
Titel
Industrialisierung der Fertigungstechnik für Mikrosysteme
Abstract
Wesentliche Hemmnisse bei der Überführung von mikrosystemtechnischen Prototypen in industriell gefertigte und am Markt erfolgreiche Produkte bestehen in der Nichtverfügbarkeit von Fertigungseinrichtungen, die eine flexible, wirtschaftliche effiziente Produktion von Mikrosystemen und Mikrokomponenten in kleineren und mitleren Stückzahlen gestatten, sowie in den derzeitig notwendigen hohen Anfangsinvestitionen, hohen Entwicklungskosten und langen Entwicklungszeiten für anwenderspezifisch zu entwickelnde Mikrosysteme und Mikrokomponenten. Zu ihrer Überwindung werden zum einen ein modulares, flexibel automatisierbares Fertigungskonzept für Mikrosysteme und Mikrokomponenten, zum anderen ein Lösungsansatz zur Modularisierung von Mikrosystemen, d.h. zum Aufbau von Mikrosystemen im Baukastenprinzip, vorgestellt sowie ihre Realisierbarkeit diskutiert.