Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Hohes Automatisierungspotential in der Chip-Produktion. Kommunikation als Schwachstelle, Fertigungszellen sollen Automatisierungsgrad im Reinraum erhöhen

 
: Schäfer, W.; Wohnhas, S.

Elektronik 40 (1991), Nr.4, S.130-132
ISSN: 0013-5658
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Automatisierung; chip; cleanroom; Fertigung; Halbleiterbauelement; Reinraum; semiconductor

Abstract
Im Vergleich zu anderen Fertigungs-Branchen weist die Automatisierung in der Chip-Produktion heute immer noch ein hohes Entwicklungspotential auf. Immer kürzere Innovationszyklen hemmen eher die Automatisierungsaktivitäten im Reinraum. Das größte Problem liegt dabei in der Kommunikation einer Vielzahl unterschiedlicher Fertigungsgeräte, die momentan auf dem Markt angeboten werden. Forschungsinstitute suchen nach neuen und standardisierten Lösungsansätzen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-17400.html