Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Herstellung von Sensoren in Silizium mit Hilfe von anisotropen Aetzen

 
: Seidel, H.; Csepregi, L.

Henning, W.:
Sensoren, Technologie und Anwendung 1982. Vorträge der NTG-GMR-Fachtagung
Berlin: VDE-Verlag, 1982 (NTG-Fachberichte 79)
ISBN: 3-8007-1249-0
S.42-48 : Abb.,Lit.
Fachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung <1, 1982, Bad Nauheim>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Anisotrop; Ätztechnik; sensor

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-16963.html