Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Heating and temperatur induced distortions of silicon X-ray masks

 
: Heinrich, H.; Betz, H.; Heuberger, A.

Microcircuit Engineering '83. International Conference on Microlithography
1983
International Conference on Microlithography <1983, Los Angeles>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Lithographie; Maske; Röntgenstrahlen; Temperatureffekt

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-16842.html