Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Handhabungstechnik im Reinraum

Handling techniques in clean rooms
 
: Kaun, R.

3. Intensivseminar Reinraum 1991
PRISMA Industrie-Kommunikation, 1991
Intensivseminar Reinraum <3, 1991, Leonberg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
automated guided vehicle; automated guided vehicles; Automatisierung; carrier; cleanroom; fahrerloses transportieren; Fertigung; Fertigungszelle; Halbleiter; Handhaben; handling; industrial robot; Industrieroboter; Konstruktion; Kontamination; manufacturing system; Planung; Reinraum; Reinraumtauglichkeit; transport; trend; wafer

Abstract
Bis heute weisen viele Reinraumfertigungen, z.B. der Halbleiterindustrie, einen in der Regel niedrigeren Automatisierungsgrad des Materialflusses auf als in anderen Fertigungen. Dies gilt vor allem für Transport sowie Handhabungsvorgänge. Hierfür gibt es zahlreiche Ursachen, wie z.B. die komplexen Fertigungsabläufe, die beengten Platzverhältnisse oder der Mangel an geeigneten reinraumtauglichen Handhabungs- und Transportsystemen. Trotzdem erlangt z.B. die Automatisierung der Handhabung empfindlicher Produkte immer mehr Bedeutung, da nur durch sie Probleme wie die zu starke Kontamination durch den Menschen, die zahlreichen mechanischen Beschädigungen oder die Gefährdung von Menschen durch gefährliche Prozesse vermindert werden können. Zur Automatisierung der Handhabung kommen sowohl einfache Systeme wie Schieber, Riementransportsysteme und Pick-and-Place-Geräte als auch Industrieroboter zum Einsatz. Nach der Einsatzflexibilität und dem daraus resultierenden Automatisierungsgrad der Hand habung läßt sich folgende Einteilung treffen: Automatisierung der Handhabung bei Fertigungsgeräten in Fertigungszellen oder in Fertigungsbereichen. Der Einsatz von Handhabungssystemen sollte jedoch nur unter Berücksichtigung reinraumspezifischer Planungs- und Konstruktionsrichtlinien erfolgen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-16712.html