Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Halbleiterfertigungstechnik auf der Semicon Europe 1988

 
: Fruehauf, W.

WT. Werkstattstechnik 78 (1988), Nr.7, S.382-383 : Abb.
ISSN: 0340-4544
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Fertigungskonzept; Halbleiterfertigung; Modulargeraetesystem; Reinraum

Abstract
Es werden Neuentwicklungen, die auf der Semicon Europe 1988 ausgestellt wurden, besprochen. Kurzbeschreibung eines neuartigen modularen Fertigungssystems fuer Lithographieprozesse (Flexibles Fotolithographisches Prozesszentrum. (IPA)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-16643.html