Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Halbleiterfertigungsgeräte und -materialien bilden eine wichtige Voraussetzung für die moderne IC-Herstellung

 
: Ryssel, H.

Mikroelektronik : me 7 (1993), Nr.5
ISSN: 0931-2714
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()
Fertigung; Gerät; Halbleiter; integrierte Schaltung; Jessi; material; Mikroelektronik

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-16642.html