Fraunhofer-Gesellschaft

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Grundlagen der Streulichtpartikelmeßtechnik

 
: Ernst, C.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Meßtechnisches Praktikum im Reinraum 1991 : 09.-10. Oktober 1991, Stuttgart-Vaihingen
Stuttgart, 1991
S.1-44
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1991, Stuttgart>
Meßtechnisches Praktikum <1991, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
aerosol; calibration; Flüssigkeit; gas; Hydrosol; Kalibrieren; Latex; Latice; light scattering; liquid; Messen; particle counter; particle measurement; Partikelmessung; Partikelzähler; Rasterelektronenmikroskop; Scanning Electron microscope; scanning electron microscopy

Abstract
Für verschiedene Anwendungen im Bereich der Partikelmessung in strömenden Reinstmedien gibt es Geräte unterschiedlichster Ausführungen. Abweichungen bei Messungen mit verschiedenen Geräten können einerseits mit der Streulichttheorie erklärt und andererseits auf die Art der technischen Ausführung zurückgeführt werden. Die Präzision der Partikelmessung ist neben den technischen Eigenschaften abhängig von der Kalibrierung eines Partikelzählers, die üblicherweise unter Verwendung von Latexpartikeln als Standardmaterial erfolgt. Bei der Messung natürlicher partikulärer Kontaminationen können aufgrund der optischen Verhältnisse besonders in Flüssigkeiten Fehler bei der Zählung und Größenklassifizierung auftreten. Voraussetzung für einen hinreichenden Meßbetrieb ist die regelmäßige Kalibrierung und Überprüfung der Partikelzähler. Die Verfügbarkeit hochwertiger Kalibrierteilchen ist eingeschränkt. Die Verfahren zur Überprüfung und Kalibrierung müssen vereinheitlicht und praktikabel ausgeführt werden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-16501.html