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Grundlagen der Streulichtpartikelmessung

 
: Ernst, C.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '96 : IPA-Workshop, 16. und 17. Oktober 1996, Stuttgart
Stuttgart, 1996
S.2-51
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1996, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Lichtmessung; Partikelmessung; Reinraum; Streulicht; Teilchen

Abstract
Die Betrachtung der Einflüsse auf Basis der Streulichttheorie macht deutlich, daß im Grenzbereich der momentan verfügbaren "Echtzeit"-Partikelmeßtechnik operiert wird. Partikelmessung mit unterschiedlichen Streulichtgeräten müssen nicht immer die gleichen Resultate liefern. Die Vergleichbarkeit der Messungen von Partikeln unterschiedlicher Gestalt, Art und Herkunft in den verschiedensten Medien ist daher nicht ganz unproblematisch, abgesehen von den Randbedingungen unter denen die Messungen zustande kommen. OPZ werden nach dem Stand der Technik bei definierten und konstanten optischen Verhältnissen mit idealen kugelförmigen, quasi monodispersen Latexpartikeln als Standardteilchen kalibriert. Mit einer Reihe monodisperser Partikelfraktionen ermittelt man experimentell eine Kalibrierkurve. Sie charakterisiert die Abbildungseigenschaften eines individuellen Sensors unter idealisierten Bedingungen und ist die Basis für die Klassifizierung und Zählung von Teilchenverunreinigungen. Der Impul s eines Teilchens wird bei der Analog-/ Digitalwandlung wie der Impuls eines Kalibrierteilchens verarbeitet. Generell betrachtet, ist es schwierig zu ermessen, in wieweit ein Meßgerät den tatsächlichen physikalischen Gegebenheiten gerecht wird. Hierunter ist z.B. das tatsächliche Defektpotential von "Killerpartikeln" in bezug auf ihre geometrische maximale Größe zu verstehen, da "nur" ein äquivalenter optischer Durchmesser zugeordnet werden kann. Eine exakte und regelmäßig durchzuführende Gerätekalibrierung z.B. mit Latexpartikeln als Meßstandard stellt die Partikelmessung allgemein auf die für einen Dialog zwischen den Anwendern erforderliche Basis (Reinheitsklassen für Medien). Als effiziente Referenzmethode für Gerätekalibrierung kommt bei Anwendung in der Submikrontechnologie die REM-Methode in Betracht, wenn Genauigkeit und Richtigkeit sichergestellt sind. Als Alternative stehen handelsübliche Konzentrations- und Größenstandards zur Verfügung, die aber nur unter sorgfältiger Anwe n dung den hohen Anforderungen an die Meßgeräte gerecht werden können und in manchen Fällen nicht erforderliche Qualität aufweisen. Für die Überprüfung der Gerätefunktionen ist zusätzliches und geeignetes Equipment erforderlich.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-16500.html