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Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten

Scattered light particle measurement and particle detection in liquids
 
: Ernst, C.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93
Stuttgart, 1993
S.1-47
Fertigungstechnik im Reinraum - Meßtechnisches Praktikum <1993, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
calibration; Flüssigkeit; Kalibrieren; Meßgerät; Messen; particle counter; Partikelmessung; Partikelzähler; REM-Auszählmethode; scattering light; SEM Counting method; Streulicht; Teilchen

Abstract
Die Streulichtpartikelmessung hat die untere physikalische Nachweisgrenze erreicht. Aufgrund der Indirektheit des Detektionsprinzips können Partikelmessungen in Flüssigkeiten mit verschiedenen Meßgerätetypen stark voneinander abweichen. Die quantitative Teilchendetektion wird entscheidend von der Bauart bzw. Konzeption des Sensors beeinflusst. Die Partikelmessung in Chemikalien ist physikalisch nicht so gut zu beherrschen, wie in Reinstwasser. Die Detektion der Phasenverschiebung eröffnet eine differenzierte Teilchenbestimmung bei erhöhter Nachweiswahrscheinlichkeit für Teilchen mit geringem Berechnungsindex.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-16488.html