Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Den Gigachip im Visier

 
: Dorner, J.; Geißinger, J.

Elektronik 39 (1990), Pronic 8, S.34-36
ISSN: 0013-5658
Step Europe Conference <1990, Brüssel>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
chip; Fertigung; Reinraumtechnik; Schnittstelle; semiconductor; Ultra-clean-manufacturing

Abstract
Die diesjährige Step-Europe-Konferenz, die am 11. und 12. Oktober in Brüssel stattfand, präsentierte die neuesten Trends und Entwicklungen für Reinraumtechnik in der Halbleiterfertigung. Um die hohen Zielsetzungen für Fertigungsanforderungen hinsichtlich des 64-Mbit-Chips und der künftigen Giga-Chip-Produktion zu erfüllen, ist eine effektive Koordination, so zum Beispiel im Bereich der Standardisierung der Schnittstellen, erforderlich.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-16147.html