Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Geringes Gewicht, kleinste Abmessungen durch Integration auf kleinstem Raum

Dreidimensionale Mikrostrukturen eröffnen neue Anwendungen
 
: Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger

Handelsblatt 47 (1992), Nr.241, S.30
ISSN: 0017-7296
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IMS ()
Mikromechanik; Mikrosystem; Mikrosystemtechnik; Silizium-Mikromechanik

Abstract
Durch große Forschungsanstrengungen in der Mikroelektronik ist der Kenntnisstand über das Basismaterial für die integrierten Schaltungen, Silizium, sehr hoch. Die technologischen Verfahren und Integrationstechniken der Mikroelektronik können aber viel allgemeiner und breiter genutzt werden. Miniaturisiert man mit Hilfe der Herstellungsverfahren der Mikroelektronik, wie Lithographie und Ätzen, mechanische Elemente, spricht man von der "Mikromechanik". Allgemein umfaßt sie die dreidimensionale Strukturierung von Festkörpern, wobei in mindestens einer Dimension Strukturgrößen im Mikrometerbereich auftreten.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-15993.html