Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Full-wafer mounting technologies for silicon micropumps

 

Jachowicz, R.S.:
Eurosensors XI. Proceedings
Warsaw: Sensor Lab Sp., 1997
ISBN: 83-908335-0-6
S.789-792, Bd.2
Eurosensors <11, 1997, Warschau>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-15497.html