Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

A frequency-selective, piezoresistive silicon vibration sensor

 
: Csepregi, L.; Heuberger, A.; Kuehl, K.; Seidel, H.; Benecke, W.

Transducers '85. 3rd International Conference on Solid-State Sensors and Actuators. Digest of technical papers
1985
S.105-108
International Conference on Solid-State Sensors and Actuators <3, 1985, Philadelphia/Pa.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-15390.html