Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Free 3D shaping with grey-tone lithography and multidose e-beam writing

 
: Kalus, M.; Frey, M.; Buchmann, L.-M.; Reimer, K.; Wagner, B.

Hatzakis, M.:
Micro- and nanoengineering 97 - MNE. Proceedings of the International Conference on Micro- and Nanofabrication 1997
Amsterdam: Elsevier, 1998 (Microelectronic engineering 41/42.1998)
S.461-464
International Conference on Micro- and Nanofabrication (MNE) <1997, Athen>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-15353.html