Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Fortschritte beim Puls-Magnetron-Sputtern

Vorbehandlung - Beschichten - Nachbehandlung
 
: Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Metzner, C.

Technische Rundschau 89 (1997), Nr.3, S.32-34
ISSN: 0040-148X
ISSN: 1662-3096
ISSN: 0040-1498
ISSN: 1023-0823
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-15125.html