Publica

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Flexibel Medien ver- und entsorgen

: Warnecke, H.-J.; Müller, B.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.

	Productronic (1990), Nr.6, S.72-74 ISSN: 0930-1100

	Deutsch
	Zeitschriftenaufsatz
	Fraunhofer IPA ()
	Fertigung; Flexibilität; Halbleiter; Medien; Medienentsorgung; Medienversorgung; Reinraum

Abstract
Das vorgestellte Medienver- und -entsorgungssystem stellt im Bereich der Halbleiterfertigung ein völlig neues, zukunftsorientiertes Konzept dar. Durch den streng modularen Aufbau des Gesamtsystems und der Systemkomponenten wird eine hohe Flexibilität bei schrittweiser Einführbarkeit erreicht. Dieses Systemkonzept setzt neue Maßstäbe für die Ver- und Entsorgung künftiger Reinraumfertigungsbereiche.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-14522.html