Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Fine tuned profile simulation of holographically exposed photoresist gratings

 
: Zanke, C.; Gombert, A.; Erdmann, A.; Weiss, M.

:

Optics communications 154 (1998), S.109-118
ISSN: 0030-4018
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ISIT ()
Fraunhofer ISE ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-14433.html