Fraunhofer-Gesellschaft

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Fertigungstechnik im Reinraum. Nur so rein wie nötig - Trend zu hochautomatisierter Fertigung

 
: Schmutz, W.; Schraft, R.D.

BioEngineering 5 (1989), Beilage Reinraumwelt, S.50-53
ISSN: 0178-2029
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Automatisierung; Fertigung; Halbleitertechnologie; Medizin; Reinraum

Abstract
"Schmutz macht Ausschuß" - diese grundlegende Problematik hat bewirkt, daß insbesondere im Zusammenhang mit der Herstellung neuer Technologien die reinraumtechnischen Anlagen zum festen und notwendigen Bestandteil von Produktionsbereichen geworden sind. Abhängig von den jeweiligen Anwendungen ergaben sich die verschiedensten Entwicklungsrichtungen der Reinraumanlagen. Die wird deutlich, wenn man etwa Reinraumanlagen für die Medizin mit denen für die Halbleitertechnik vergleicht.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-14246.html