Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)

 

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme - MikroFAB - : 2. Statusseminar am 30. Mai 1996, Stuttgart
Stuttgart, 1996
Statusseminar Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme <2, 1996, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; Fertigungskonzept; Mikrosystem; Mikrosystemtechnik

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-14202.html