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1989
Conference Paper
Titel
Faseroptische Sensoren mit mikromechanischen Wandlerelementen
Abstract
Mikromechanische Resonatoren können faseroptisch angeregt und abgetastet werden, so daß ein elektrisch vollständig passiver Sensorkopf mit hoher Störsicherheit aufgebaut werden kann. Am Beispiel von Siliziumzungen wurden verschiedene faseroptische Anregungs- und Detektionsverfahren untersucht. Die verwendeten Zungenstrukturen konnten mit optischen Leistungen von ca. 50 myW angeregt werden und die Schwingung durch eine einfache reflektive Messung detektiert werden. Es konnte gezeigt werden, daß auch eine optische Puls- oder Rauschanregung der Resonatoren möglich ist, was insbesondere für den Aufbau von Sensorsystemen interessant erscheint.
Konferenz