Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Fabrication of relief-topographic surfaces with one-step UV-lithographic

 

:

Microsystem Technologies (1995), Nr.1, S.196-201
ISSN: 0946-7076
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-13706.html