Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Fabrication of microrelief surfaces using a one-step lithography process

 

:

Motamedi, M.E. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Microelectronic structures and MEMS for optical processing III : 29-30 September 1997, Austin/Texas
Bellingham, Wash.: SPIE, 1997 (SPIE Proceedings Series 3226)
ISBN: 0-8194-2658-X
S.2-10
Conference "Microelectronic Structures and MEMS for Optical Processing" <3, 1997, Austin/Tex.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-13704.html