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1998
Conference Paper
Titel
FAB-Simulation zur Layout-Dimensionierung
Abstract
Bereits in der Konzeptionsphase des Projektes Flexfab wurde davon ausgegangen, daß sich gewisse Fragestellungen (notwendige Equipmentkapazitäten, Liegezeitprobleme, Transportprobleme usw.) nur mit Hilfe von Simulation basierend auf Fab-Modellen beantworten lassen. In diesem Beitrag wird dargestellt, in welchen Schritten ein Simulationsmodell für die Waferfab der flexiblen Fab entwickelt wurde, das durch die Berechnung von Szenarien und deren Auswertung wichtige Aussagen zur Dimensionierung und Layoutgestaltung liefert.