Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Evaluation of semiconductor manufacturing equipment with respect to particle generation

 
: Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D.

Institute of Environmental Sciences -IES-, Mt. Prospect/Ill.:
ICCS '88. International Symposium on Contamination Control. Proceedings
Mount Prospect/Ill., 1988
S.54-59 : Abb.,Lit.
International Symposium of Contamination Control <9, 1988, Los Angeles/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Halbleiterfertigungsgerät; Partikelkontamination; Partikelmessung; Prüfzentrum; Reinraumtechnik

Abstract
Der Artikel handelt von den verschiedenen Methoden zur Messung und Bestimmung von Partikelverunreinigungen in Luft, Grasen, Flüssigkeiten und auf Oberflächen. Er beschreibt ein Prüfzentrum, das am IPA für solche Untersuchungen eingerichtet wurde, dessen Ziele, Ausrüstungen und Tätigkeiten. Es werden Ergebnisse und Erfahrungen beschrieben, die in den bisherigen Untersuchungen erzielt wurden. (IPA)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-13284.html