Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Etching processes

 
: Mader, H.

Landolt-Boernstein, Vol. 17 C
Berlin/West: Springer, 1984
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Hochintegration; Plasmaaetzen; Strukturierung

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-13168.html