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Erzeugung neuer Oberflächenzustände an SIC-Werkstoffen mit dem Excimerlaser: Mechanismus - Eigenschaften - Anwendung
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1994
Journal Article
Titel
Erzeugung neuer Oberflächenzustände an SIC-Werkstoffen mit dem Excimerlaser: Mechanismus - Eigenschaften - Anwendung
Author(s)
Großmann, J.
Emmel, A.
Schubert, E.
Zeitschrift
Laser und Optoelektronik
Language
English
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Fraunhofer-Institut für Silicatforschung ISC