Fraunhofer-Gesellschaft

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Entwicklungstrends in der industriellen Produktion von Mikrosystemen

 

Gens, W. ; TU Ilmenau:
Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechnik und Mikrosystemtechnik. Entwicklung, Konstruktion und Fertigung. Bd. 1
Ilmenau: TU, 1996
ISSN: 0943-7207
S.271-276
Internationales Wissenschaftliches Kolloquium <41, 1996, Ilmenau>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; kleine Stückzahlen; Mikrosystem; Mikrosystemtechnik; Mikrotechnik; Stückzahl

Abstract
Ein wesentliches Hemmnis in der Überführung von mikrosystemtechnischen Prototypen in industriell gefertigte und am Markt erfolgreiche Produkte besteht in der Nichtverfügbarkeit von Fertigungseinrichtungen, die eine flexible, wirtschaftlich effiziente Produktion von Mikrosystemen und Mikrokomponenten in kleineren und mittleren Stückzahlen gestatten. Es wird ein Fertigungskonzept zur industriellen Produktion von Mikrosystemen vorgestellt, das auf einem arbeitsteiligen Prozeß basiert. Der arbeitsteilige Prozeß beinhaltet Systementwurf und Fertigungsplanung durch den Mikrosystemhersteller, Fertigung des informationstechnischen Teils des Mikrosystems durch einen Halbleiterhersteller, Ausführung know-how-tragender Mikrostrukturierungsprozesse durch den Mikrosystemhersteller und Realisierung wenig effizient ausführbarer Mikrostrukturierungsprozesse durch externe technologische Dienstleistungsanbieter.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-12609.html