Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Entwicklung von Zellenrechnern für die Halbleiterfertigung

 
: Schäfer, W.; Wohnhas, S.

3. Intensivseminar Reinraum 1991
PRISMA Industrie-Kommunikation, 1991
Intensivseminar Reinraum <3, 1991, Leonberg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; Fertigungszelle; Halbleiter; Zelle; Zellenrechner

Abstract
In der Halbleiterfertigung besteht zunehmend die Tendenz zur Bildung von Subsystemen zu sogenannten Zellen. Die Zellen können dabei aus gleichartigen Fertigungsgeräten z.B. im Ofenbereich oder aber aus verschiedenartigen Geräten z.B. im Photolithographiebereich bestehen. Dieser Beitrag zeigt auf, wie Zellen informationstechnisch in eine Fertigung integrierbar sind. Außerdem erfolgt die Festlegung und Strukturierung der Funktionalität von Zellenrechnern. Abschließend werden Beispiele für die Bildung von Zellen angeführt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-12524.html