Fraunhofer-Gesellschaft

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Entwicklung eines Simulationstools für den Mikrosensor niedrigen Druckbereichs

 
: Hu, B.; Rüter, K.; Folkmer, B.; Lang, W.

Drittes Symposium Mikrosystemtechnik. Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik. Tagungsband
1993
Mikrosystemtechnik <3, 1993, Regensburg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Drucksensor; finite elemente; Finite-Elemente-Methode (FEM); niedriger Druckbereich; simulator

Abstract
Durch ein geschicktes Kontinuieren von kommerzieller, Software und eigens entwickelten, auf das jeweilige Probleme zugeschnittene Interface-Programm läßt sich der Aufwand der Simulation des Verhaltens der mikromechanischen Niederdrucksensoren deutlich reduzieren und zum Teil vollautomatisieren, ohne daß die Rechengenauigkeit darunter leidet.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-12408.html