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Elektrisch isolierendes Duennschichtsystem mit definierter elektrischer Restleitfaehigkeit
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Title
Elektrisch isolierendes Duennschichtsystem mit definierter elektrischer Restleitfaehigkeit
Date Issued
1999
Author(s)
Weber, A.
Hoeing, T.
Weber, A.D.
Patent No
1997-19736664
1997-19740189
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19838063A
Patenprio
DE 1997-19736664 A: 19970822