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1993
Journal Article
Titel
Einschlußtechniken zur Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik. Tl.1. Lokale Reinräume, Minienvironments, SMIF, CIP/SIP, Enclosures - Begriffliche Gemeinsamkeiten und Auswirkungen auf die Qualität der Produkte
Abstract
Begriffliche Darstellung der Einschlußtechniken. Anhand der Mikroelektronik und am Beispiel der Steriltechniken wird aufgezeigt, daß Einschlußtechniken zur Fehlerfreundlichkeit beitragen können.