Fraunhofer-Gesellschaft

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Einsatz des Laser-Raster-Mikroskops zum Test hochintegrierter CMOS-Schaltungen

 
: Fritz, J.; Lackmann, R.

FhG-Berichte (1990), Nr.1, S.38-45
ISSN: 0342-1953
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IMS ()
kontaktlose Messung; CAD-Kopplung; latch-up Untersuchung; OBIC-Effekt

Abstract
Das Laser-Raster-Mikroskop bietet die Möglichkeit der zerstörungsfreien Fehleranalyse integrierter Schaltungen. In dem Beitrag werden kontaktfreie Messverfahren im Inneren einer integrierten CMOS-Schaltung vorgestellt. Bei einer digitalen CMOS -Schaltung kann der logische Zustand eines internen Transistors im dynamischen Betrieb der Schaltung beobachtet werden. Die Latch-up-Empfindlichkeit einer CMOS-Schaltung kann durch Einstrahlung und stufenweise Erhöhung der Laserintensität geprüft werden. Beide Verfahren nutzen die lichtstrahlinduzierten Ströme im Inneren der Schaltung (OBIC-Effekt).

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-11323.html