Fraunhofer-Gesellschaft

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Einsatz der Modellierung und Simulation in der Entwicklung von Sensoren. Lichtempfindliche Sensoren auf CMOS-Basis

 
: Erlebach, A.; Stephan, R.

VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik -GMF-:
Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik. Tagungsband
Düsseldorf: VDI-Verlag, 1992 (VDI-Berichte 960)
ISBN: 3-18-090960-9
S.101-110 : Abb.,Lit.
Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik <1992, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
Feldeffekttransistor; Halbleiterphotoeffekt; Lichtempfänger; Lichtempfindliches Halbleiterbauelement; Photoelektrisches Bauelement; phototransistor; simulation; Simulationsprogramm; simulator; transistor

Abstract
Die ein- und mehrdimensionale Prozeß- und Devicesimulation stellt ein wesentliches Hilfsmittel zur effektiven Entwicklung von Technologien und Bauelementen der Mikroelektronik dar. Die Simulatoren TESIM-3 (1D-Prozeßsimulation), DIOS (2D-Prozeßsimulation) und ToSCA (2D-Devicessimulation) werden in ihrer Leistungsfähigkeit bei der Anwendung auf sensorische Bauelemente dargestellt. Aus der Entwicklung von lichtempfindlichen CMOS-Bauelementstrukturen werden Modelle und Simulationsergebnisse vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-11305.html