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EINRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG VON WERKSTUECKEN IN EINEM NIEDERDRUCK-PLASMA
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Title
EINRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG VON WERKSTUECKEN IN EINEM NIEDERDRUCK-PLASMA
Date Issued
2001
Author(s)
Winkler, T.
Goedicke, K.
Fietzke, F.
Schiller, S.
Kirchhoff, V.
Patent No
1997-19753684
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19753684A
Patenprio
DE 1997-19753684 A: 19971203