Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Effects of heavy metal contamination from corrosive gas and dopant handling equipment in silicon wafer processing

 
: Klausmann, E.; Eisele, K.M.

Solid state technology 27 (1984), S.177-180 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0038-111X
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IAF ()
Getterwirkung; Lebensdauer; Minoritaetstraeger; Phosphorsilikatglas; Schwermetallverunreinigung

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-10669.html