Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Dreidimensionale Strukturierung des Siliziums zum Herstellen von Sensoren

 
: Csepregi, L.; Seidl, H.

Elektronik, Produktion und Prüftechnik : EPP (1983), Maerz, S.110-112 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0172-6250
ISSN: 0943-0962
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Anisotropie; Ätztechnik; sensor; Silizium

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-10194.html