Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Doping behavior of implanted Mg in Silicon

 
: Sigmund, H.; Weiss, D.

Ryssel, H.; Glawischnig, H.:
Ion implantation. Equipment and techniques
Berlin; Berlin/West: Springer, 1983 (Springer series in electrophysics 11)
S.463-480 : Abb.,Lit.
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Dotierung; Ionenimplantation

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-10128.html