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Anordnung zur Bestimmung der Konzentration kontaminierender Teilchen in einem Be- und Entladebereich eines Geraetes zur Verarbeitung wenigstens eines scheibenfoermigen Objektes
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Title
Anordnung zur Bestimmung der Konzentration kontaminierender Teilchen in einem Be- und Entladebereich eines Geraetes zur Verarbeitung wenigstens eines scheibenfoermigen Objektes
Date Issued
2003
Author(s)
Trunk, R.
Schneider, C.
Pfitzner, L.
Storbeck, O.
Patent No
2001-10143074
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=10143074A
Patenprio
DE 2001-10143074 A: 20010903