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Vorrichtung zum Versorgen einer Prozesskammer mit fluiden Medien

Device for supplying a process chamber with fluid media comprises a supply line having a supply opening, seals assigned to the supply opening, and tensioning units for tensioning the supply line on a receiver of the process chamber.
 
: Hilburger, U.; Molchanov, A.; Ossege, S.; Miller, M.; Friedrich, J.; Wehrhan, G.

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DE 2002-10239083 A: 20020826
DE 2002-10239083 A: 20020826
DE 10239083 A1: 20040311
B01J0004
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IISB ()

Abstract
Bei einer Vorrichtung zum Versorgen einer Prozesskammer mit fluiden Medien mit mindestens einer Versorgungsleitung (17), die eine Versorgungsoeffnung (18) aufweist, und mit der Versorgungsoeffnung (18) zugeordneten Dichtmitteln (15, 19) ist zum Beschicken der Prozesskammer und zum Entnehmen des hergestellten Materials daraus ein hoher Montageaufwand erforderlich. Ein schnelles und unkompliziertes Beschicken der Prozesskammer oder Entnehmen des hergestellten Materials daraus wird durch Spannmittel (30, 31) zum Spannen der Versorgungsleitung (17) auf eine der Versorgungsoeffnung (18) zugeordnete Aufnahme (15) der Prozesskammer (10) ermoeglicht.

 

DE 10239083 A UPAB: 20040418 NOVELTY - Device for supplying a process chamber with fluid media comprises a supply line (17) having a supply opening (18), seals (15, 19) assigned to the supply opening, and tensioning units (30, 31) for tensioning the supply line on a receiver of the process chamber. USE - Used in the manufacture of metal alloys, for growing crystals, for producing lenses, prisms, light-conducting rods, optical windows and optical components for photolithography, steppers, excimer lasers, wafers, computer chips and integrated circuits and electronic devices (claimed). ADVANTAGE - The process chamber can be quickly and easily charged.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PP-1375.html