Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Abschied von Traditionen. Strahlverfahren zur Feinreinigung in der Mikrotechnik

 
: Werner, D.; Grimme, R.

Metalloberfläche : mo 56 (2002), Nr.3, S.12-14,16
ISSN: 0026-0797
ISSN: 0043-2792
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Laserreinigung; Laserstrahl; Reinigen; Mikrotechnik

Abstract
Am Fraunhofer IPA werden Verfahren zur lokalen Reinigung mikrotechnischer Funktionselemente entwickelt. Neben der Laserreinigung wurde eine leistungsfähige Methode zur Reinigung mit CO2-Schnee konzipiert. Entsprechende Reinigungssysteme und -geräte lassen sich kurzfristig an verschiedene Produktionsumgebungen anpassen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-9779.html