Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

MAGIC: A european program to push the insertion of maskless lithography

 
: Pain, L.; Icard, B.; Tedesco, S.; Kampherbeck, B.; Gross, G.; Klein, C.; Loeschner, H.; Platzgummer, E.; Morgan, R.; Manakli, S.; Kretz, J.; Holhe, C.; Choi, K.-H.; Thrum, F.; Kassel, E.; Pilz, W.; Keil, K.; Butschke, J.; Irmscher, M.; Letzkus, F.; Hudek, P.; Paraskevopoulos, A.; Ramm, P.; Weber, J.

:

Schellenberg, F.M. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Emerging lithographic technologies XII : 26 - 28 February 2008, San Jose, California, USA
Bellingham, WA: SPIE, 2008 (SPIE Proceedings 6921)
ISBN: 978-0-8194-7106-2
ISBN: 0-8194-7106-2
Paper 69211S
Conference "Emerging Lithographic Technologies" <12, 2008, San Jose/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer HHI ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-96110.html